一、鈦靶的化學(xué)要求
| ASTM B265 | GB / T 3620.1 | JIS H4600 | 元素含量（≤wt％） | ||||||
| N | C | H | 鐵 | ? | 其他 | ||||
| 純鈦 | Gr1 | TA1 | 1類 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.20 | 0.18 | / |
| Gr2 | TA2 | 2類 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / | |
| 鈦合金 | Gr5 | TC4 鈦-6Al-4V | 60級 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.40 | 0.2 | 鋁：5.5-6.75 V：3.5-4.5 |
| Gr7 | TA9 | 第12課 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | 鈀：0.12-0.25 | |
| Gr12 | TA10 | 60E級 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | 鉬：0.2-0.4 鎳：0.6-0.9 | |
二、規(guī)格
| 產(chǎn)品名稱 | 鈦圓形靶 |
| 牌號 | 鈦（Gr1，Gr2，Gr5，Gr7，GR12） 合金靶材：Ti-Al，Ti-Cr，Ti-Zr等 |
| 起源 | 陜西省寶雞市 |
| 鈦含量 | ≥99.5（％） |
| 雜質(zhì)含量 | <0.02（％） |
| 密度 | 4.51或4.50 g / cm3 |
| 標(biāo)準(zhǔn) | ASTM B381；ASTM F67，ASTM F136 |
| 尺寸 | 1.圓形靶：?30--2000mm，厚度3.0mm--300mm； 2.板托：長度：200-500mm寬度：100-230mm厚度：3--40mm 3.靶材：直徑：30-200mm厚度：5-20mm長度：500-2000mm 4.可定制 |
| 技術(shù) | 鍛造和數(shù)控加工 |
| 應(yīng)用 | 半導(dǎo)體分離，薄膜涂層材料，存儲電極涂層，濺射涂層，表面涂層，玻璃涂層工業(yè)。 |
三、管靶室溫下的縱向機械性能
| 牌號 | 拉伸強度Rm / MPa（> =） | 屈服強度Rp0.2（MPa） | 伸長 A4D（％） | 減少面積 Z（％） |
| Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| Gr12 | 485 | 345 | 18歲 | 25 |
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